無塵車間凈化工程主要有進風系統(tǒng)、回風系統(tǒng)、緩沖區(qū)、風淋室,貨淋室,傳遞窗等,那么它的各個系統(tǒng)的主要設備有哪些呢?
一、無塵車間凈化工程進風系統(tǒng)要安裝:新風過濾箱,中央凈化空調(中央凈化空調要分為初效/中效/高效三個過濾段)末端有高效送風口。有必要時還裝有凈化增壓箱。
二、無塵車間回風系統(tǒng)要安裝:回風口,過濾初效器,中效回風箱。
三、進入無塵車間之前先進入緩沖區(qū),緩沖區(qū)門安裝電子互鎖,更衣處放置潔凈儲衣柜空氣清新機。
四、人和貨物進入無塵凈化車間須經過風淋室,貨淋室,傳遞窗主要傳遞小物品。
五、在無塵凈化車間內局部需要達到10-1000級地方安裝垂直層流工作臺,層流罩(ffu),潔凈棚(可移式凈化工作棚),自凈器。測無塵室潔凈度用,激光塵埃粒子計數器。
六、無塵廠房要設計觀察窗方便參觀。
由此可見無塵凈化車間工程得凈化工程是非常嚴格的,每個部分都有特定的設備,各個設備之間又相互配合,各自運作。
一種循環(huán)空調機配合高效送風口系統(tǒng)形式在小規(guī)模低等級要求的潔凈車間裝修工程設計中被廣泛應用,對于大面積高等級的潔凈車間工程則存在運行成本過高、占用空間過大等缺點。
二種循環(huán)風機配合濕式密封系統(tǒng)形式的設計可以滿足集成電路制造潔凈車間工程大面積高等級的要求,但運行成本較高,并且潔凈室工程的風速、風量調節(jié)困難,系統(tǒng)升級改造困難,因此操作靈活性很低。
三種的FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運行空間、潔凈度安全性高、運行成本低,而且操作靈活性很高,可以在不影響生產的情況下隨時進行系統(tǒng)升級和調整,這些都能很好地滿足半導體制造的需求,因此在半導體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為最主要的設計方案。
所謂的凈化就是將一定空間范圍內空氣中的細菌、有害氣體、微粒子等污染物清除,并將室內的溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在一個范圍內,但是凈化車間是一個復雜的工程,需要很多技術知識,在設計和施工中要注意很多細節(jié),下面為您介紹凈化車間中不能忽視的細節(jié)。
在凈化車間中空氣凈化系統(tǒng)中,潔凈空氣都需要靠風管輸送,風管的性能會影響到空氣潔凈度,風管首先要注意密閉性,使用中不積累灰塵、不產生灰塵、耐潮濕、耐腐蝕、不會污染等性能,在風管的設計中也需要考慮阻力的問題,避免阻力過大,需要增加送風的壓力,增加能源的消耗。
工作人員的走動影響室內的空氣潔凈度,避免工作人員減少不必要的走動,需要在車間內的電話,電話可以減少工作人員來回走動,影響室內的環(huán)境,凈化車間的安全性非常重要,尤其是需要注意防火問題,在車間內設置火災報警系統(tǒng)和自動水淋系統(tǒng),還需要配備消防設備,這樣才能保證車間的安全性。南康無塵凈化車間工程